针对晶圆或脆性磁性材料,柔性上料机如何确保零损伤抓取?


传统的机械振动盘确实容易导致脆性材料崩边,而智能柔性上料机通过“声-光-力”的三维协同彻底解决了这一难题:
音圈电机柔性振散:

 不同于机械碰撞,设备采用**音圈电机(Voice Coil Motor)**产生可编程的声波力场,支持11种柔性动作模式 。物料在盘面上呈“悬浮”状态移动,从物理源头消除了硬摩擦。
力控闭环管理: 

机械手Z轴集成了力控反馈系统 在吸取0.3mm超薄晶圆或磁芯时,能够以微压力接触,防止压碎。
无损真空吸取: 

视觉系统会实时检测真空度,确保在移动过程中不掉料,吸嘴设计适配 0.2-12mm 尺寸范围的微小器件 ,真正实现半导体级的无损上料。